Park NX-Hivac

用於故障分析與敏感材料研究的高真空原子力顯微鏡

Park NX-Hivac可使失效分析工程師在高真空環境中提高AFM測量的靈敏度和重複性。由於高真空測量比一般環境或乾燥的氮氣條件具有更高的精性、更好的重複性、更少的針尖和品損傷，用戶可以在各種失效分析應用中測量更廣泛的信號響應範圍，例如掃描擴展電阻顯微鏡SSRM的摻雜濃度。

Park NX-Hivac使材料科學研究能夠在沒有氧氣和其他質的真空環境中進行高精度和高分辨率測量。在高真空條件下執行掃描擴散電阻顯微鏡測量可減少所需的針尖-樣本相互作用力，從而大幅度降低對樣本和針尖的損傷。如此可延長各針尖的使用壽命，使掃描更加低成本和便捷，並通過提高空間分辨率和信噪比得到更為精準的結果。因此，利用NX-Hivac進行的高真空掃描擴散電阻顯微術測量可謂是故障分析工程師增加其吞吐量、減少成本和提高準確性的明智選擇。

Park Hivac 管理器

NX-Hivac 真空自動控制

Hivac 管理器通過一鍵單擊在邏輯和視覺上精細控制真空條件，在抽氣和排氣過程來實現高真空。各個過程通過顏色和圖示變化得到直觀監控，一鍵單擊後您即可無需操心真空操作順序。更快速、更簡便的真空控制軟件使原子力顯微鏡的使用更便捷更有效。

自動化特點

NX-Hivac具有大量功能從而能夠大大減少用戶輸入。換言之，您可以更快速地掃描，提高實驗室產量。。

配備電控載物台的StepScan自動化掃描

StepScan允許用戶能夠對器件進行編程從實現而快速便捷地多區域成像。 NX-Hivac讓您只需五步即可完成樣本掃描：掃描、提升懸臂、移動電動平台至用戶定義坐標區域、進針及重複掃描。如此可有效提高生產率，大大減少用戶輸入。

電動激光對準

Park電動激光對準使用戶無需輸入即可無縫銜接自動化測量例程。憑藉著我們專有的預准直懸臂架，在更換探針時激光已對準懸臂。只需要調整定位旋鈕，便可在X和Y軸上任意定位激光光點，達到準確位置。

提高精度和生產率

NX-Hivac既是業界精準的高性能原子力顯微鏡，同時也是用於故障分析的簡便的原子力顯微鏡之一。

Park NX-Hivac幫您可以提高自己的生產效率，並確保取得靠譜的結果。

閉環XY和Z軸掃描儀

利用兩個獨立的閉環XY和Z軸撓曲掃描儀，您可以確信掃描的高精準度。 NX-Hivac提供低殘餘彎曲的平面和正交XY軸掃描，使得整個掃描範圍內的離面運動距離低於1 nm。此外，NX-Hivac的特色還有非線性為低於0.5%的15 μm掃描範圍的高速Z軸掃描儀，無需進行軟件後期處理即可獲得精準的二維和三位測量。

低噪聲XYZ軸位置傳感器

NX-Hivac具有Park原子力顯微鏡行業領跑的低噪聲Z軸探測器功能，可準確測量樣本形貌，同時低噪聲XY軸閉環掃描將前後掃描間隙降低至掃描範圍的0.15%。