Park NX20 Lite

具備許多獨特的功能

使其成為對於處理各種樣品的共享實驗室、進行多變體實驗的研究人員以及晶圓失效分析的工程師而言的理想選擇。其合理的價格和強大的功能集也使其成為業內最具性價比的大樣本原子力顯微鏡之一。

具有NX系列最新性能

用於晶圓測量與分

價格合理的AFM系統

 使用多樣本掃描進行最方便的樣本測量

  • 一次自動對多個樣本進行成像
  • 專門設計的多樣品夾頭，最多可裝載16個單獨的樣品（可選）
  • 全電動XY樣品台行程可達 150 mm x 150 mm

 True Non-Contact™ 模式下的最佳吸頭壽命、分辨率和樣品保存

  • 快速Z伺服速度可實現True Non-Contact™模式
  • 極小的尖端磨損可實現長時間的高質量和高分辨率成像

 通過串擾消除進行精確的XY掃描

  • 兩個獨立的閉環XY和Z彎曲掃描儀
  • 具有低殘餘弓形的平面正交XY掃描
  • NX電子控制器支持更精確的高度測量，無需任何軟體處理

 多種模式和選項

  • 全面的測量模式和表徵
  • 通過可選附件和升級擴展功能
  • 用於失效分析(FA)的高級電氣測量


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