可用於300mm晶片圓測量和分析的頂級自動化納米測量工具

Park NX20 300mm是業界首個大樣品原子力顯微鏡,支持300mm x 300mm全程機動化。

新升級的Park NX20系統專為失效分析和質量控制實驗室設計，可有效地檢測整個300mm晶圓，且無需任何繁瑣的樣品位移。

經檢驗的原子力顯微鏡性能和單擊-原子力顯微鏡自動化取消了樣本調整的需求，並使Park NX20的掃描過程盡可能高效和便於使用。

通過我們的SmartScan 測量界面，用戶可以在整個300mm x 300mm區域輕鬆實現可靠與可重複的順序多站點測量。

NX20 300mm從而成為需要掃描大樣品的FA、QA和QC工程師的首選。