Park NX-Wafer

晶圓廠專業自動化缺陷檢測的原子力顯微鏡

用於高吞吐量CMP輪廓測量的高精準低噪聲原子力輪廓儀

Park NX-Wafer是業界前沿的半導體及相關製造業自動化AFM計量系統。該系統能提供晶圓製造廠檢查和分析、裸晶圓和襯底的自動缺陷檢測以及CMP輪廓測量。 Park NX-Wafer具有超高的納米級表面分辨率和亞埃級的高精度。在持續掃描後，探針針尖的變化可以忽略不計，仍具有高超的針尖銳度保護力。

Park NX-Wafer以其專有的自動系統功能而嶄露頭角，成為目前業界引領的半導體AFM工具。該自動系統包括自動探針更換、實時監控、無參考標記的目標定位和自動分析。

• 噪聲原子力輪廓儀，用於更精準的CMP輪廓測量
• 亞埃級表面粗糙度測量具有超高的精度和極長的探針使用壽命
• 用於缺陷成像和分析的全自動AFM解決方案
• 全自動系統，包括自動探針更換、機器人晶片搬運
• 能夠掃描300 mm晶圓