Park NX-HDM原子力顯微鏡系統可藉助數量級實現自動缺陷識別、掃描和分析，從而加快缺陷的檢查過程。
Park NX Hybrid WLI是一款具有內置WLI輪廓儀的AFM，用於半導體和相關製造質量保證。
可用於300mm晶片圓測量和分析的頂級自動化納米測量工具。
作為一款缺陷形貌分析的精密測量儀器，其主要目的是對樣品進行缺陷檢測。
用於高吞吐量CMP輪廓測量的高精準低噪聲原子力輪廓儀。
用於高分辨率3D計量的自動化工業原子力顯微鏡。
