NX-3DM Series

Park Systems推出革命性的XE-3DM全自動原子力顯微鏡系統，專為垂懸輪廓、高分辨率側壁成像和臨界角的測量而設計。借助獨有的XY軸和Z軸獨立掃描系統和傾斜式Z軸掃描器，成功克服了精確側壁分析中的法向和喇叭形頭所帶來的挑戰。在True Non-Contact™模式下，XE-3DM可實現帶有高長寬比尖端的柔軟光刻膠的無損測量。